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ASM 工藝過程的化學計量關系推導及應用

論文類型 技術與工程 發表日期 2008-11-01
來源 環境科學與技術
作者 劉建勇,顧國維
關鍵詞 ASM;機理模型;化學計量學;化學計量系數
摘要 ASM 系列模型自推出以來得到廣泛應用。詳細推導了ASM1 涉及到的主要化學計量系數,分析了ASM 在實際應用中應注意的問題。

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