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HgCdTe探測器應力的多重晶X射線衍射分析

論文類型 基礎研究 發表日期 2004-08-01
來源 功能材料與器件學報
作者 孫濤,王慶學,陳文橋,梁晉穗,陳興國,胡曉寧,李言謹,何力
關鍵詞 HgCdTe 應力 鈍化 三重晶x射線衍射 倒易空間作圖
摘要 HgCdTe光伏探測器的鈍化介質膜應力常常限制其低溫性能，利用高分辨率多重晶x射線衍射儀中的三重晶衍射技術和倒易空間作圖對鈍化介質膜應力進行了表征，發現在較高濺射能量下沉積的鈍化膜，由于應力的作用，HgCdTe晶片出現彎曲，并有大量鑲嵌結構，而在較低的濺射能量下和熱蒸發下沉積的鈍化膜，晶面未出現明顯彎曲，可獲得較低應力的鈍化介質層。

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